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氮化硅膜是指硅氮化合物的薄膜,常用作微电子技术电绝缘层。化学计量比的氮化硅由正方氮化硅晶胞组成,多余的硅原子在其中排列成六方结构。化学计量比的氮化硅由正方氮化硅晶胞组成,多余的硅原子在其中排列成六方结构。通过技术手段,制作成氮化硅薄膜窗口。
碳支持膜是一种常见并被广泛使用的一种支持膜,为两层支持膜结构,可以采用不同规格的载网做载体。由于碳层具有较强的导电以及导热性,弥补了无碳方华膜的荷电效应以及热效应,增强了膜整体的稳定性,可满足大多数纳米材料(尤其是可分散的粉体材料)的一般形貌测试需要。但是由于这种支持膜本身的结构导致了整体支持膜的厚度较大,一般不太容易满足高质量的高分辨测试的要求。
碳膜与氮化硅薄膜窗口的对比分析
碳膜 | 氮化硅膜窗口 | |
价格 | 10~20元 | 80-200元 |
导电性 | 导电性较好 | 几乎不导电 |
散热速率 | 散热性较好 | 散热较差 |
耐温 | 不耐高温 | 耐温1000℃ |
最小厚度 | 3-5 nm | 10 nm |
原位芯片提供的氮化硅薄膜窗口,满足电镜观测实验使用。提供氮化硅膜窗口定制化服务,让更多实验室使用满足自己实验的氮化硅薄膜窗口。