TEM氮化硅膜单窗口和多窗口产品主要用于TEM(透射电镜)样品杆的支持载网,实现生物或材料样品在电镜下的高分辨表征。也可作为生物细胞的载体,应用于TEM(透射电子电镜)、SEM(扫描电子电镜)、AFM(原子力显微镜镜)、拉曼光谱仪和XRD(X射线衍射)等设备。
微孔窗口由先进的MEMS工艺制造,可实现纳米管、二维材料和其他纳米样品的无衬底观测,相对于微栅碳膜,微孔氮化硅薄膜表面更加洁净,微孔更加均匀,十分适合生物或材料样品的高分辨表征。
薄膜厚度最小可至10nm,氮化硅薄膜材料对电子束吸收少;
表面粗糙度<0.5nm,窗口大面积扫描时,可减少重新聚焦频率;
最高可耐受1000℃高温;
薄膜耐酸碱腐蚀;电子束作用下,对大多数化学物质都有抗性;
薄膜区域无其他结构,可实现避Cu、避C观测;
光镜下逐片进行检验,严格把控薄膜质量;
作为生物、细胞载体
含碳样品分析(光阻剂,聚合物,食品,油品,燃料等)
胶体,气凝胶,有机材料和纳米颗粒的表征实验
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