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如何选择定制氮化硅薄膜窗口?

发布时间:2021-04-16 13:30:40

根据实验需求的不同,电镜实验室对氮化硅薄膜窗口的需求也不同。如何选合适的氮化硅薄膜窗口供应商是需要花时间的。为了节约大家的选择时间,我们向大家提供如下参数,供大家在做定制款的氮化硅薄膜窗口时参考。

原位芯片 氮化硅薄膜窗口定制参数

项目特性

硅基底厚度

100—1000μm

外框尺寸

≥1μm

氮化硅薄膜厚度

10—2000nm

氮化硅薄膜应力

50—1000Mpa

薄膜窗口尺寸

3μm—15mm

表面薄膜金属(Au/Pt/Cu/Ti/Cr等数十种)

5—2000nm

表面氧化物、化合物(SiO2/Al2O3等数十种)

5—2000nm

金属、化合物的图形化最小线条宽度

50nm

硅凹槽通道刻蚀

50nm—1000μm

氮化硅薄膜刻蚀盲孔通孔

≥5nm

其他数十种微纳米MEMS工艺

原位芯片已向国内各大院校提供电镜设备使用的氮化硅薄膜窗口标准品,获得老师和学生们的一致好评。超高洁净度的观测窗口,给每一次实验带来优良的检测体验,让实验数据更接近真实。

 

原位芯片产品均在五千平的洁净车间生产制备,由品质10余年质检经验的专业人员层层把控,对每一个窗口进行质量检测,最后再到实验人员的手中。原位芯片的氮化硅薄膜窗口从研发到广泛应用,都离不开团队的努力。原位芯片在氮化硅薄膜的研发上拥有自己的专利,这离不开拥有一支超过10年MEMS工艺经验的团队,完整的设计,制造和测试能力。除常规标准品之外,如您的实验需要更多定制化,高质量,高可靠性的氮化硅薄膜窗口,可以按照上述参数选择定制氮化硅薄膜窗口供应商。

 

根据实验需求的不同,电镜实验室对氮化硅薄膜窗口的需求也不同。如何选合适的氮化硅薄膜窗口供应商是需要花时间的。为了节约大家的选择时间,我们向大家提供如下参数,供大家在做定制款的氮化硅薄膜窗口时参考。

 

在原位芯片之前,国内实验室大多选用进口的氮化硅薄膜窗口。价格昂贵且运输周期长。自从氮化硅薄膜窗口国产化之后,给国内实验室做电镜实验方便了很多。超高洁净度的观测窗口,可以给每一次实验带来优良的检测体验,让实验数据更接近真实。

 

编辑搜图

如您的实验需要更多定制化,高质量,高可靠性的氮化硅薄膜窗口,可以按照上述参数选择定制氮化硅薄膜窗口供应商。


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